Sistema de metrología de superficies

FRT MicroProf MPR 1250

Fries Research & Technology
Designación del equipo: FRT MicroProf® MPR 1250
El FRT MicroProf® MPR 1250 es un sistema de medición de superficies de alta precisión de la serie MicroProf® de Fries Research & Technology GmbH (FRT). Estos sistemas están diseñados para el análisis no destructivo y sin contacto de parámetros superficiales como topografía, rugosidad, grosor de capas y otros.

Características del FRT MicroProf:
Detalles del equipo:
Modelo: FRT MicroProf® MPR1250
Número de artículo: 200 00
Tipo de sensor: CWL 300 µm
Número de serie: 0904001
Principio de medición: Sensor puntual cromático-confocal
Fuente de luz: Lámpara halógena, luz blanca
Resolución vertical: hasta 3 nm
Precisión de medición (Z): 100 nm
Resolución lateral (XY): 2,5 µm
Ángulo de medición respecto a la superficie: 90° ±30°
Tamaño máximo de muestra: aprox. 310 x 310 x 50 mm

Datos técnicos (extracto):
Mesa XY:
Tipo: mesa cruzada XY compacta
Recorrido (área de medición): 200 x 200 mm
Guía: guías mecánicas de rodillos cruzados
Accionamiento: motor DC con husillo de recirculación de bolas
Sistema de medición de posición: Escala de vidrio Heidenhain con marca de referencia
Resolución del sistema de medición: 0,2 µm
Repetibilidad: < ±1 µm
Escuadra XY: < 4 µm / 200 mm
Desviación en altura (por eje): < 2 µm / 200 mm

Eje Z (motorizado):
Tipo: eje lineal
Recorrido: 50 mm (opcional 100 mm)
Accionamiento: motor paso a paso con husillo
Desviación lateral: < 2 µm / 50 mm
Ajuste grueso manual (opcional):
Tipo: guía de cola de milano
Rango de ajuste: hasta 300 mm de altura de muestra

Medición:
Mínima distancia de puntos (XY): 0,6 µm
Tamaño de muestra: aprox. 310 x 310 x 50 mm
Peso máximo de muestra: 5 kg (opcional 10 kg)
Velocidad de medición: 1 µm/s hasta máx. 100 mm/s

Sistema:
Dsdpowh Swdefx Aayocn
Peso total: aprox. 275 kg (conjunto de medición: 225 kg)
Superficie de instalación del conjunto de medición: aprox. 0,9 x 0,8 m
Dimensiones de la unidad de control (An x Pr x Al): aprox. 0,55 x 0,53 x 0,32 m
Alimentación eléctrica (UE/EE. UU.): 110–240 V, 50–60 Hz, 16 A
Consumo de energía: aprox. 300–400 W

Condiciones de funcionamiento:
Rango de temperatura: 22 °C ±5 °C
Constancia de temperatura: < 0,5 °C
Peso aprox. 500 kg

Estado:
El equipo se encuentra en muy buen estado técnico y óptico.
Todos los ejes se mueven de forma precisa y uniforme.

Alcance de suministro:
Sistema de medición XY MicroProf® MPR200 00
Unidad de control
Cables de conexión

(¡Modificaciones y errores en los datos técnicos y especificaciones reservados!)

La inspección y prueba en sitio son posibles previo acuerdo.
Con gusto aclaramos sus preguntas por teléfono.

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